MEMS傳感器是基于微機(jī)電系統(tǒng)的典型傳感器件。它是指可以批量制造的，集微結(jié)構(gòu)、微傳感器、微執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路于一體的器件或系統(tǒng)。其特征尺寸一般在0.1μm～100μm范圍。MEMS集成了當(dāng)今科學(xué)技術(shù)的許多尖端成果，它將感知信息處理與執(zhí)行機(jī)構(gòu)相結(jié)合，改變了人類感知和控制外部世界的方式。
從全球產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局來(lái)看，2018年中國(guó)MEMS傳感器行業(yè)銷售規(guī)模排名全球第一，占全球比重達(dá)23.82%，其次為美國(guó)(15.61%)、韓國(guó)(9.03%)和日本(8.01%)。此外德國(guó)(6.57%)、英國(guó)(3.29%)等少數(shù)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)國(guó)家也占據(jù)了重要份額，中東、非洲等地區(qū)所占份額相對(duì)較少。
未來(lái)，隨著全球電子制造產(chǎn)業(yè)鏈加速向亞太地區(qū)，轉(zhuǎn)移，憑借成本等優(yōu)勢(shì)，MEMS產(chǎn)業(yè)重心也將不斷東遷，亞太地區(qū)的MEMS產(chǎn)業(yè)規(guī)模也將持續(xù)增長(zhǎng)。此外，亞太地區(qū)也是消費(fèi)電子、汽車和工業(yè)領(lǐng)域的主要市場(chǎng)，亞太地區(qū)已成為大型投資和業(yè)務(wù)擴(kuò)張機(jī)會(huì)的全球焦點(diǎn)。
而中國(guó)是亞太地區(qū)MEMS發(fā)展?jié)摿ψ畲?、增速最快的市?chǎng)，尤其是移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)與物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，將對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響，催生出大量創(chuàng)新產(chǎn)品及應(yīng)用，帶動(dòng)MEMS產(chǎn)品在工業(yè)生產(chǎn)及日常生活的普及化。
MEMS主要應(yīng)用于消費(fèi)電子領(lǐng)域
MEMS傳感器作為獲取信息的關(guān)鍵器件，對(duì)各種傳感裝置的微型化起著巨大的推動(dòng)作用，由最早的工業(yè)、軍用航空應(yīng)用走向普通的民用和消費(fèi)市場(chǎng)。MEMS傳感器廣泛應(yīng)用于社會(huì)、發(fā)展及人類生活都的各個(gè)領(lǐng)域，如工業(yè)自動(dòng)化、農(nóng)業(yè)現(xiàn)代比、航天技術(shù)、軍事工程、機(jī)器人技術(shù)、資源開發(fā)、海洋探測(cè)、環(huán)境監(jiān)測(cè)、安全保衛(wèi)、醫(yī)療診斷、交通運(yùn)輸、家用電器等。
分行業(yè)來(lái)看，MEMS傳感器制造行業(yè)主要應(yīng)用領(lǐng)域包括工業(yè)檢測(cè)、汽車、醫(yī)療、環(huán)境保護(hù)、航空航天等。具體用途如下表：
中國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)的起步和發(fā)展與中國(guó)3C產(chǎn)品(包括計(jì)算機(jī)、通信和消費(fèi)類電子產(chǎn)品)及汽車電子產(chǎn)品保持快速增長(zhǎng)、全球電子整機(jī)產(chǎn)業(yè)向中國(guó)轉(zhuǎn)移密切相關(guān)。近年來(lái)，隨著消費(fèi)電子、汽車電子產(chǎn)品等下游行業(yè)的快速發(fā)展，我國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)需求旺盛，歷年持續(xù)保持快速增長(zhǎng)。根據(jù)CCID的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，2018年，我國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到504.3億元，成為全球MEMS市場(chǎng)發(fā)展最快的地區(qū)。由于近年來(lái)硬件創(chuàng)新市場(chǎng)逐漸轉(zhuǎn)移國(guó)內(nèi)，中國(guó)市場(chǎng)對(duì)于MEMS器件的需求增速遠(yuǎn)高于全球MEMS市場(chǎng)增速。
從政策方面來(lái)看，我國(guó)在“十三五”規(guī)劃里提出了一個(gè)“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”(約24億元)的國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)專項(xiàng)，對(duì)先進(jìn)傳感器做規(guī)劃。另外，科技部2017年7月也發(fā)布了科技創(chuàng)新規(guī)劃，包括網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造、綠色制造、智能機(jī)器人和工業(yè)傳感器等。
從應(yīng)用方面來(lái)看，目前MEMS技術(shù)已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于航空航天、電子、生物、醫(yī)藥等高新技術(shù)領(lǐng)域，成為一項(xiàng)關(guān)系到國(guó)防安全、科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮的關(guān)鍵技術(shù)。隨著國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)等多個(gè)環(huán)節(jié)的技術(shù)和工藝正在逐步成熟，MEMS傳感器受益于物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，將在工業(yè)控制、軍工、智能家居、智慧城市等領(lǐng)域?qū)⒌玫礁鼮閺V泛的應(yīng)用。
從國(guó)內(nèi)市場(chǎng)來(lái)看，我國(guó)擁有全球規(guī)模最大的集成電路市場(chǎng)。蘋果、三星、小米、華為、中興等手機(jī)品牌在中國(guó)設(shè)廠生產(chǎn)，加之汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)、無(wú)人機(jī)、智能家庭等概念產(chǎn)品的逐步興起，以及可穿戴設(shè)備的蓬勃發(fā)展，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)對(duì)硅麥克風(fēng)、加速度計(jì)、陀螺儀、電子羅盤、射頻儀器、高精度壓力傳感器、氣體傳感器等MEMS傳感器的需求快速增長(zhǎng)。
在MEMS傳感器應(yīng)用前景良好和國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程提速背景下，未來(lái)我國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)前景廣闊。結(jié)合之前的發(fā)展數(shù)據(jù)預(yù)測(cè)，未來(lái)幾年我國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)規(guī)模年均增速保持在15%左右，預(yù)測(cè)到2025年我國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)將達(dá)到1342億元。